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[公司新聞] 多弧離子鍍涂層表面大顆粒的去除
由于弧光放電的特性,大顆粒是多弧離子鍍技術(shù)不可避免的缺陷。它的存在會影響涂層的加工質(zhì)量,因此已經(jīng)有人對此做了一些改善。在靶材表面加磁過濾管道,或者在基體和靶材之間增加擋板,是在文獻中和zhuanli中能經(jīng)常見到的一種方法,但是這些方法都在一定程度降低發(fā)布時間:2021-01-18 點擊次數(shù):218