PVD真空鍍膜具體操作請(qǐng)參考設(shè)備說(shuō)明書、真空鍍膜機(jī)儀表板上的指針顯示和每個(gè)旋鈕下的說(shuō)明。 ①檢查真空鍍膜設(shè)備各操作控制開(kāi)關(guān)是否處于"關(guān)”位置。 打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān),接通真空鍍膜設(shè)備電源。 拔出低壓閥。打開(kāi)充氣閥后,聽(tīng)不到氣流聲,啟動(dòng)鐘罩閥,鐘罩上升。 (4)安裝固定鎢絲螺旋加熱器。PVDF膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)盤上。鋁線穿過(guò)螺旋加熱器。清洗鐘罩的所有部件,確保無(wú)雜質(zhì)和 污物。 放下鐘罩。 ⑥啟動(dòng)真空鍍膜設(shè)備的真空泵。 ⑦開(kāi)放式復(fù)合真空計(jì)電源(復(fù)合真空計(jì)型號(hào):FZH-1A)。 A.順時(shí)針旋轉(zhuǎn)左側(cè)旋鈕“1”至指向第二節(jié)的加熱:位置。 B.低真空表"2”.上的指針順時(shí)針移動(dòng)。當(dāng)指針移動(dòng)到110mA時(shí),左側(cè)旋鈕“1"旋轉(zhuǎn)到指向第二節(jié)的測(cè)量位置。 當(dāng)?shù)驼婵毡怼?”上的指針再次順時(shí)針移動(dòng)到6.7PA時(shí),將低壓閥推入。然后將左側(cè)旋鈕“1"旋轉(zhuǎn)到指向1段的測(cè)量位置。 ⑨打開(kāi)真空鍍膜設(shè)備的冷卻水,啟動(dòng)擴(kuò)散泵,加熱40min. 低壓閥拔出。重復(fù)⑦動(dòng)作步驟:將左下旋鈕“1"旋轉(zhuǎn)到指向2段的測(cè)量位置。低真空表"2”.上的指針順時(shí)針移動(dòng)。當(dāng)指針 移至6.7Pa時(shí),打開(kāi)高壓閥(閥桿順時(shí)針旋轉(zhuǎn))。 一：首先為大家介紹一下電控柜的操作，每款設(shè)備操作都是有流程的，任何一步都不能遺漏。

（1）首先開(kāi)水泵、氣源。（2）接著開(kāi)總電源。（3）開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。（4）開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。（5）觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。 二：DEF-6B電子槍電源柜的操作，（1）打開(kāi)總電源。（2）同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。（3）開(kāi)高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。